Halbleiterfertigung
ESD-Schutzkleidung für die Halbleiterfertigung
In der Halbleiterfertigung treffen zwei der strengsten Anforderungen aufeinander: extreme ESD-Empfindlichkeit und Reinraumbedingungen. Bauelemente auf Wafer-Ebene reagieren bereits auf sehr niedrige Entladungen — die Schutzwirkung der Kleidung darf hier keine Schwachstelle haben.
Kontext und Anforderung
Die gehandhabten Strukturen gehören zu den empfindlichsten überhaupt. Gleichzeitig gilt in vielen Bereichen Reinraumklassifizierung: Die Kleidung muss also nicht nur ableiten, sondern auch partikelarm sein und den Körper möglichst vollflächig bedecken, damit weder Ladung noch Partikel in die Zone gelangen.
Anforderungen an die Schutzkleidung
Maximale Konsistenz der Ableitung
Partikelarme Materialien
Vollflächige Deckung
Dokumentierte Werte
Empfohlene Artikel
Reinraumtaugliche Gewebe und Gewirke, vollflächig deckende Schnitte (Mäntel/Kittel), Ausführung als Reinraum-Variante. Welche konkrete Material- und Reinheitsanforderung gilt, leiten wir aus Ihrer EPA- und Reinraumspezifikation ab.
Einblick in die Fertigung
